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      1. 1、大、小倉無法補氣

        原因:①手套箱內通往大小倉的氣孔可能被塑料薄膜等阻塞;②電磁閥是否沒有打開。

        方法:①依據管路走向,確認氣孔位置,疏通管路;②查看線路及電磁閥。

        2、大小倉無法抽氣

        原因:①大小倉內抽氣孔被塑料薄膜等阻塞或艙門漏氣;②倉門沒關緊,或是大小倉密封圈松動。

        方法:①依據管路走向,確認氣孔位置,疏通管路;②關緊倉門,查看大小密封圈;③查看作業氣壓是否過低(由于大倉抽氣閥是氣動閥)。

        3、清洗時箱壓繼續添加

        原因:清洗閥門沒有打開、進氣壓力太大、管路不疏通造成。

        方法:①確保管路疏通,最好不要折彎;②清洗時,箱內相對壓力繼續低于0.5毫巴。

        4、凈化柱主閥毛病

        原因:①作業氣壓力不足0.5Mpa;②主閥信號反饋毛病。

        方法:①更換作業氣瓶,或查看減壓閥副表壓力在0.5Mpa;②查看主閥信號開關。

        5、循環不能敞開

        原因:風機變頻器低壓或高壓維護。

        方法:待電壓穩定后,關機隔1分鐘后重啟。

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